1. 產品概述

2. 核心技術參數

• 測試原理：四探針法（直線四探針法 / 范德堡法可選）

• 測試范圍：電阻率 10?? ~ 10? Ω?cm，方阻 10?? ~ 10? Ω/□

• 測試精度：±0.5%（滿量程），重復性 ±0.1%

• 探針配置：直線四探針，標準間距 1.0mm（可定制）

• 探針壓力：5g ~ 200g 連續可調

• 測試電流：1nA ~ 100mA 多檔位自動切換

• 數據接口：RS232C/USB，支持數據導出與上位機連接

• 供電規格：AC 100~240V，50/60Hz，全球通用寬電壓

• 適用樣品：硅晶圓、ITO 薄膜、導電玻璃、半導體薄膜、金屬薄膜等

3. 日本 NPS  四探針電阻測試儀sigma-5 + 產品核心特點

1. 高精度測試：±0.5% 滿量程精度，滿足半導體、顯示面板等行業的高精度檢測要求

2. 寬量程覆蓋：適配從金屬薄膜到半導體材料的全品類導電性能測試

3. 多模式測試：支持直線四探針法、范德堡法，適配不同形狀、厚度的樣品

4. 自動化操作：支持多點掃描、自動升降探針、自動數據記錄，提升批量檢測效率

5. 高適配性：可適配 4/6/8 英寸硅晶圓、玻璃基板、柔性薄膜等各類樣品

6. 穩定可靠：工業級硬件設計，抗干擾能力強，可在實驗室、產線環境長期運行

4. 適用場景

5. 安裝、使用與售后

• 安裝說明：設備為臺式分體式設計，按規范連接主機與測試臺，放置于平穩工作臺，避免震動

• 使用維護：定期校準探針與測試系統，清潔探針與樣品載臺，保障測試精度

• 售后服務：提供專業安裝調試、操作培訓、校準服務，原廠技術支持與配件供應

• 包裝運輸：采用防震、防潮包裝，保障設備運輸過程中不受損傷